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四氟化碳

纯度:99.999%

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基本信息:

 四氟化碳 纯度:99%

 别名:四氟甲烷;Freon-14;R 14

 英文名称:carbon tetrafluoride

 英文同义词:Tetrafluoromethane

 CAS No:75-73-0

 EINECS:200-896-5

 分子式:CF4

 分子量:88

物理性质:


化学性质:

 

相对分子量88.00。在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,不易溶于水。在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解?#20219;?.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。

四氟化碳有时会用作低温冷?#37255;痢?#23427;可用于电路板的制造,以及制造绝缘物质和半导体。它是用作气体?#32431;碳?#21450;等离子体?#32431;?#29256;。

 

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子?#32431;?#27668;体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的?#32431;獺?#23545;于硅和二氧化硅体系,采用CF4-H2反应离子刻?#35789;保?#36890;过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。

 

在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

 

由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业?#21462;?/span>

 

四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的深度内,小白鼠仍可安全脱险。

吸入四氟化碳的后果与浓度有关,包括头痛、恶心、头昏眼花及心血管系统的破坏(主要?#20999;?#33039;)。长时间接触会导致严重的心脏破坏。

 

四氟化碳的密度比较高,可以填满地面空间范围,在不通风的地方会导致窒息。





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